兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響,一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此近年來干式真空泵市場需求量很大真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)得以廣泛應(yīng)用。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線,并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線,并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。